Taramalı Elektron Mikroskobunda yüksek voltaj ile hızlandırılmış elektronlar vakum altında numune üzerine odaklanır. Elektron demetinin numune üzerinde taranması sonucunda çeşitli etkileşimler oluşur, bu etkileşimler sonucu oluşan çeşitli sinyaller uygun dedektörler tarafından toplanır ve sinyal güçlendiricilerden geçirildikten sonra bir katot ışınları tüpünün ekranına aktarılarak görüntü elde edilir. Gerek ayırım gücü (resolution), gerek odak derinliği (depth of focus) gerekse görüntü ve analizi birleştirebilme özelliği, taramalı elektron mikroskobunun kullanım alanını genişletmektedir.
Çalışma voltajı: 3.0 nm (30 kV, İkincil Elektron – SE), 4.0 nm (30 kV, Geri Saçılmalı Elektron – BSED)
Büyütme: 5X-800000X
Stage: 5 eksenli motorize tabla
Numune Boyutu: Maksimum 200 mm çapında numune boyutu; 80 mm yükseklik
Taramalı elektron mikroskobu, katı malzeme örnekleri ve yüzey detaylarını nanometrik boyutlara kadar üç boyutlu görüntüleme imkânı sunmaktadır. Malzemeleri oluşturan element türleri ve miktarları oransal olarak çıkarılabilmektedir. Cihaz, mevcut doğal taş, maden cevheri, metalik, polimerik, kompozit malzemeler ve biyolojik dokuların yakın yüzey özelliklerinin saptanabilmesine olanak sağlamaktadır. Bunun yanı sıra madde bilimleri (maddelerin içerik analizleri), malzeme araştırmaları, pürüzlü yüzeylerin incelenmesi, üç boyutlu cisim incelemesi ve yüzey topografyası, malzeme hasarlarının incelenmesi, diş hekimliği, arkeoloji, tekstil, mikroelektronikte yonga (chip) üretimi, sanayide hata analizleri gibi pek çok alanda da SEM’den yararlanılmaktadır.
