Taramalı Elektron Mikroskobunda yüksek voltaj ile hızlandırılmış elektronlar vakum altında numune üzerine odaklanır. Elektron demetinin numune üzerinde taranması sonucunda çeşitli etkileşimler oluşur, bu etkileşimler sonucu oluşan çeşitli sinyaller uygun dedektörler tarafından toplanır ve sinyal güçlendiricilerden geçirildikten sonra bir katot ışınları tüpünün ekranına aktarılarak görüntü elde edilir. Gerek ayırım gücü (resolution), gerek odak derinliği (depth of focus) gerekse görüntü ve analizi birleştirebilme özelliği, taramalı elektron mikroskobunun kullanım alanını genişletmektedir.
Çalışma voltajı: 0,1kV ile 30kV aralığında
Büyütme: 10x—1000000x
Stage: 5 eksenli motorlu eucentric gonyometre
Numune Boyutu: 200 mm çap ve 48 mm yükseklikte numunelerin analizi yapılabilmektedir.
Dedektörler: SE, BSE, EDS, WDS, EBSD
Taramalı elektron mikroskobu, katı malzeme örnekleri ve yüzey detaylarını nanometrik boyutlara kadar üç boyutlu görüntüleme imkânı sunmaktadır. Malzemeleri oluşturan element türleri ve miktarları oransal olarak çıkarılabilmektedir. Cihaz, mevcut doğal taş, maden cevheri, metalik, polimerik, kompozit malzemeler ve biyolojik dokuların yakın yüzey özelliklerinin saptanabilmesine olanak sağlamaktadır. Bunun yanı sıra madde bilimleri (maddelerin içerik analizleri), malzeme araştırmaları, pürüzlü yüzeylerin incelenmesi, üç boyutlu cisim incelemesi ve yüzey topografyası, malzeme hasarlarının incelenmesi, diş hekimliği, arkeoloji, tekstil, mikroelektronikte yonga (chip) üretimi, sanayide hata analizleri gibi pek çok alanda da SEM’den yararlanılmaktadır.
