OMÜ Kurupelit Kampüsü Karadeniz İleri Teknoloji Araştırma ve Uygulama Merkezi Atakum / Samsun

İNCE FİLM KAPLAMA SİSTEMİ (PVD)

12.04.2020
İNCE FİLM KAPLAMA SİSTEMİ (PVD)
TEMEL PRENSİPLER

Termal buharlaştırma yöntemi, malzemelerin ince film halinde kaplanması için yaygın olarak kullanılan bir yöntemdir. Bu yöntem ile çok sayıda malzeme buharlaştırılarak kaplanabilir ve yüksek vakum altında kaplama yapıldığı için buharlaşma sıcaklığı oldukça azalır ve böylece kaplanan ince film katmanında kirlilik oranı minimize edilir

İnce film kalınlığı nanometre boyutundan mikrometrelere kadar uzanan çeşitli katman malzemelerine verilen isimdir. Elektronik aygıt üretimi, optik kaplamalar ve fotovoltaik uygulamalar gibi yüzey mühendisliği gerektiren birçok alanda tercih edilen yöntemlerdendir. Fiziksel bir kaplama yöntemi olan termal buharlaştırma yönteminde malzemeyi eritmek ve buhar basıncını kullanışlı bir seviyeye ulaştırmak için elektrikli rezistans ısıtıcı kullanılır ve kaplamanın birikmesi atomik ölçekte gerçekleşir.

10-6 Torr vakum değerine inen sistem ile Ge, Ni, Au, Ag, Al, Cr, Ti ve benzer metalleri 4 inç çapındaki alttaş üzerine buharlaştırabilmektedir. Sistemde iki adet termal buharlaştırma kaynağı mevcuttur. Bu sayede farklı malzemelerin katman halinde kaplanması mümkündür. Kaynaklar 200 A kadar akım taşıyabilir. Sistem kuartz kristal kaplama sensörüne sahip olduğu için yapılan kaplamaların kalınlığı 0.5 nm hassasiyette okunabilmektedir.

CİHAZIN ÖZELLİKLERİ

KULLANIM ALANLARI

İnce film kalınlığı nanometre boyutundan mikrometrelere kadar uzanan çeşitli katman malzemelerine verilen isimdir. Elektronik aygıt üretimi, optik kaplamalar ve fotovoltaik uygulamalar gibi yüzey mühendisliği gerektiren birçok alanda tercih edilen yöntemlerdendir.

  • Malzeme Ve Metalurji Mühendisliği
  • Enerji Sistemleri Mühendisliği
  • Elektrik ve Elektronik Mühendisliği
  • Fizik
  • Kimya gibi alanlarda konuyla ilgili çalışmaları olan akademisyenlerimiz ve sanayide bu alanda üretim yapan firmaların ar-ge çalışmaları kapsamında bu cihazımızdan faydalanabilirler.

NOT: Merkezimiz bünyesinde bu cihaz kullanılarak yapılmış bir çalışma henüz yoktur.

ÖRNEK ÇALIŞMALAR
Bilgi ve proforma talepleriniz için bizi arayabilirsiniz: